耐腐蝕隔膜真空泵與油泵相比真空度低，抽氣量小，但體積小巧，易于安裝，維護簡單，移動方便，不產生油煙，不污染環境，尤其在要求較高的實驗室使用較好。也是實驗室常備的設備之一。
耐腐蝕隔膜真空泵是真空泵和低溫冷卻泵的結合，即可以抽真空，又可以提供低溫冷卻循環水，是減壓蒸餾和減壓濃縮的良好輔助設備。特別適應配備旋轉蒸發器，不但減少了使用空間，而且降低了真空度，節省了水資源，被現代實驗室廣泛裝備。
耐腐蝕隔膜真空泵腔內容積不斷變化而形成排氣作用，要求潤滑油應具有合適的粘度和粘溫特性。良好的熱氧化安定性隔膜真空泵不斷向高速度發展，由于滑動葉片和泵體之間的高速摩擦，油溫升高，并且油容易被氧化和分解。特別是，擴散泵通常在高溫環境下工作。系統中的蒸氣壓增加，真空度降低。因此，要求隔膜真空泵油具有良好的熱氧化穩定性。
耐腐蝕隔膜真空泵的安裝步驟：
1、設備應安裝在地面結實堅固的場所，周圍應留有充分的余地，便于檢查、維護、保養。
2、底座下應保持地基水平，底座四角處建議墊減震橡皮或用螺栓澆制安裝，確保設備運轉平穩，振動小
3、與系統的連接管道應密封可靠，對設備可采用金屬管路連接密封墊采用耐油橡膠，對小隔膜真空泵可采用真空膠管連接，管道管徑不得小于隔膜真空泵吸氣口徑，且要求管路短而少彎頭。
4、在連接管路中，用戶可在設備進氣口上方安裝閥門及真空計，隨時可檢查設備的極限壓力。
5、按電動機標牌規定連接電源，并接地線和安裝合適規格的熔斷器及熱繼電器。
6、通電試運轉時，須取下電機皮帶，確認設備轉向符合規定方向方可投入使用，以防設備反轉噴油。
7、對于有冷卻水的隔膜真空泵，按規定接通冷卻水。
8、如泵口安裝電磁閥時，閥與隔膜真空泵應同時動作。
9、當設備排出氣體影響工作環境時，可在排氣口裝接管道引離或裝接油霧過濾器。
